线光谱共焦3D传感器

             线光谱共焦3D传感器

产品用途

被测物体之逐行扫描测量，以实现3D形貌、2D轮廓与尺寸、表面粗糙度及外观缺陷等检测。

• 亚微米级超高精度
• 不受物体材质影响，透明/高反光材质可稳定测量
• 一次扫描可同时输出2D/3D图像(3D点云图、2D轮廓图、高清深度图、高清灰度图)
• 多层材料依旧稳定测量(一次扫描、多层数据、多项检测)
• 完备的SDK及软件服务

行业应用（3C）

显示屏幕检测。

-应用案例： ①摄像头盲孔测量；②bonding 区胶高测量；③屏幕崩边、崩角检测；④曲面屏边缘成像；⑤内屏缺陷检测

摄像头模组检测。

-应用案例：摄像头模组照明模块，芯片面与基准面高度差

柔性组件3D快速检测。

-应用案例：柔性组件精密加工槽高差，约30μm

三维陶瓷基板检测。

-应用案例：三维陶瓷基板3D高度差快速测量

半导体晶圆，3D微观结构检测。

-应用案例：12寸晶圆，56μm高度

半导体，玻璃基板晶圆。

-应用案例：槽宽、槽深、孔径、锥度（孔）、粗糙度

锂电，防爆阀多层表面检测。

-应用案例：防爆阀多层表面成像

新能源，薄膜电容检测。

-应用案例：薄膜电容锡焊表面完整性，高反光表面

产品原理

利用色散光学特性，将样品高度信息编码到波长；相机捕获波长和强度信息，形成样品的高度轮廓线；沿水平方向扫描样品，对扫描区域逐行生成高度轮廓线分析和处理，完成样品的三维形貌测量。

产品规格

尺寸图